分析ソフトウェア WVASE

3D モデル化

WVASE® は、最もパワフルで包括的なエリプソメトリー解析プログラムです。他のどのプログラムよりも多くのモデリングオプションを提供します。また、WVASE は高速です。最先端の数学的フィットアルゴリズムを採用しており、最も速く、最も正確にデータにフィットします。エリプソメトリーデータのモデリングと解析に加えて、WVASE は反射率や透過率の解析やシミュレーションも行います（有機物のような非常に薄い膜の解析には中性子反射率データも必要です）。 WVASE は、VASE、IR-VASE、VUV-VASE システムに含まれています。 以下のような多くの機能が組み込まれています。 - ローレンツ - ガウシアン - ハーモニック - ドリュード - Tauc-Lorentz - コーディローレンツ（Cody-Lorentz - タンギー - PSEMI メタマテリアルは、通常、測定波長よりも小さい小さな構造体のアレイを人工的に作成したものである。これらの構造体は、天然素材では一般的に観測されない方法で、入射する電磁波と相互作用するように調整された特性を持っています。メタマテリアル構造を完全にモデル化するためには、最大4つの相対的な構成関数（ε、μ、γ、ζ）が必要となります。さらに、メタマテリアルは異方性を持つこともあり、以下のように各関数に3×3のテンソルが必要となる。 これらの方程式はMeta-6層で具現化され、以下のように、様々な異方性誘電体テンソルを記述する異なるGen-Osc層があります。メタマテリアルは、通常、異方性があり、しばしば脱分極します。つまり、通常、一般化エリプソメトリ (g-SE) あるいはミューラー・マトリックス・エリプソメトリ (MM-SE) のいずれかの測定が必要となります。