測定用ソフトウェア CompleteEASE

マッピング自動

次世代のエリプソメトリー・ソフトウェアは、Woollam社のエリプソメトリー・ソフトウェアCompleteEASE®として登場しました。ウーラム社のエリプソメーターのための革新的な新ソフトウェアCompleteEASE®は、これまで以上に使いやすく、ウーラム社に期待されてきたワールドクラスの品質を備えています。 CompleteEASEはM-2000、RC2、iSE、theta-SE、alpha-SEの各システムに付属しています。 CompleteEASEは、エリプソメトリーに必要な全ての機能を備えたソフトウェアパッケージです。自動サンプルマッピングにより、サンプルの均一性を簡単に測定できます。プロセスチャンバー上での分光エリプソメトリーや、追加の温度制御ステージやリキッドセルを用いたin-situデータの収集。すべてのデータ収集のニーズは、使いやすい1つのソフトウェアパッケージにまとめられています。 独自のレシピを作成して、データ収集、マッピングの自動化、サンプルの分析をワンステップで行うことができます。便利でシンプルなプッシュボタン式の操作性を実現しています。 CompleteEASEには、様々な典型的なサンプルをカバーするモデルが組み込まれています。薄膜の特性を決定するためのデータの処理方法は、内蔵されたモデルがわかりやすく説明しています。CompleteEASEには400以上の材料ファイルと分散方程式が含まれており、誘電体や有機物、半導体や金属など様々な薄膜に対応しています。 CompleteEASE の厚さプリフィットは、特許取得済みの特別なアルゴリズムを使用して、データに適合する最適な厚さをすばやく自動的に見つけ出します。公称膜厚が不明な場合の当て推量を解消します。 B-スプライン層は、ダイレクトフィットや振動子モデルの代替としてCompleteEASEで開発されました。