XY軸ポジショニングステージ

電動式2軸コンパクト

Jenaer Antriebstechnikからのシステムは紡錘ドライブが付いている密集した、平らな橋である。単位は機械および電気関係の準備ができている。 それは20のmmの線形測定システムなしで0.5の1.0までµmからの決断、および< 10 µmの反復性を置く500 x 500の旅行範囲のねじ鉛とmm設計されている。システムは線形測定システムとのさまざまな変形入って来。