アナリシスステーション™
「画像中心の観察分析・融合システム」を、基本コンセプトとしたTEM/EDSのインテグレーションシステムです。分析データと共に電顕本体装置の倍率、加速電圧等のパラメーターを自動収集し、データの管理を行います。
特長
シリコンドリフト検出器(以下、SDD)には、検出面積30mm2、60mm2、100mm2の3タイプがあります。検出面積が大きいものほど検出感度が向上します。JEM-ARM200F(HRP)とドライSD100GV検出器(検出面積100mm2)の組合せでは、大受光面積と高分解能を両立し、 ”B、C、N、O”などの軽元素も明瞭に識別可能です。
• 高速元素マップ
高感度ドライSD100GV検出器は、Au触媒粒子をわずか1分の測定時間で検出しています。
試料 Ti酸化物担持上のAu触媒粒子
装置 JEM-ARM200F + ドライSD100GV検出器
測定時間 約1分
プローブ電流 1nA
画素数 256x256ピクセル
• 原子分解能マップ
Sr,Tiの原子カラムが明瞭に分離されています。
試料 SrTiO3
装置 JEM-ARM200F + ドライSD100GV検出器
測定時間 約10分
プローブ電流 1nA
画素数 128x128ピクセル
• プレイバック
JEOL製のEDSで収集した元素マップは、各フレームのピクセル毎にスペクトルを保存し、各フレームの電子線イメージも保存しています。”プレイバック”機能を使用することにより、スペクトル等の時間変化の観測など、多角的に解析が可能です。測定後にデータのリプレイができ、今まで不可能であった時系列による試料の変化の様子の観測が可能です。またプレイバックでは任意のフレームを切り抜くことも可能です。(特許申請中)
装置 JEM-2800+ドライSD100GV検出器
試料 岩塩
画素数 128x128
抽出フレーム 398フレーム