走査型電子顕微鏡 miXcroscopy™

実験用床置き高解像度

同じ試料台を光学顕微鏡と走査電子顕微鏡の両方で使用できるようになった。その結果、専用ソフトウェアでステージ情報を管理することで、光学顕微鏡で観察した場所を記録し、さらに走査電子顕微鏡で拡大観察することで、より高倍率・高分解能で微細構造を観察することが可能になりました。光学顕微鏡像と走査電子顕微鏡像の比較検証がスムーズかつ容易に行えるようになりました。 特徴 カラーによるデータ取得と直感的な観察が可能 SEM像では得られない光学顕微鏡像の可視光色情報を付加することで、より直感的な視覚効果を持つSEM像を提供します。 光学顕微鏡の特徴を活かしたスムーズなターゲットサーチ 光学顕微鏡で観察することで、SEM像では判別しにくいターゲット構造も容易に見つけることができます。 電子ビームによる試料へのダメージを防止 電子線によるダメージやコンタミネーションを防ぐため、光学顕微鏡で観察したい場所を探してから観察します。これにより、観察部位への被ばく線量を最小限に抑えたSEM観察が可能となります。