電子顕微鏡 JEM-ARM300F2

分析用床置き冷陰極電界放出

新型原子分解能電子顕微鏡 "GRAND ARM™2" 登場! 原子分解能電子顕微鏡JEM-ARM300F "GRAND ARM™" を さらに進化させ、低加速から高加速までさまざまな加速電圧にて、超高空間分解能観察と高感度分析を両立させました。 特長 特長1 新開発対物レンズFHP2 加速電圧300 kV対応の超高空間分解能観察用対物レンズポールピースFHPの性能はそのまま維持しつつ、大面積（158 mm2）SDDのX線取り出し角、検出立体角が向上するようにポールピースの形状を最適化しました。 その結果、超高空間分解能の性能を持ちながら、FHPの2倍以上の実効X線検出感度が実現しました。 特長2 エンクロージャーカバー GARM ARM™2では、TEMの鏡筒をボックス型のエンクロージャー (標準構成) でカバーしました。これにより、気流や室温変化、騒音などの外乱の影響を低減し、装置の安定性が向上しました。 特長3 ETAコレクター & JEOL COSMO™ Quick & Accurate収差補正 JEOL COSMO™では、アモルファス領域から、2枚のロンチグラムを取得して、収差を計測・補正します。したがって、専用の試料なしで、Quick & Accurate収差補正を行うことが可能です。 特長4 安定性の向上 新型冷陰極電界放出形電子銃 (CFEG) では、排気量を強化した小型ポンプを採用しました。 これにより、電子銃エミッター近傍の真空度が向上し、エミッションおよびプローブ電流の安定性が向上いたしました。さらに、ポンプが小型されたことにより、CFEGの重量もおよそ100 kg軽減したことで、TEM本体の振動に対する抵抗力が強化されました。 また、他にも電気的、機械的な安定性を強化することにより、装置全体の安定性、性能の向上を達成いたしました。