走査型電子顕微鏡 JSM-IT800 series

分析用3D床置き

JSM-IT800は、高分解能観察を実現するための "インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃" と次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、高速度元素マッピングを実現するために使いやすさを追求したGUI "SEM Center" に自社製EDSを組込んだシステムを共通のプラットフォームとしています。 SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、お客様の様々なニーズに応じた装置を提供します。 JSM-IT800には、対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズバージョン (HL)、より高分解能観察や分析を可能にするスーパーハイブリッドレンズバージョン (SHL/SHLs、機能の違いにより2バージョン)、半導体試料観察を得意とするセミインレンズバージョン (i/is 、機能の違いにより2バージョン) と5つのバージョンをラインナップしました。 さらに、JSM-IT800には、新しい反射電子検出器であるシンチレーター反射電子検出器 (SBED) と多目的反射電子検出器 (VBED) が搭載可能です。SBEDでは応答性の良い、低加速電圧での材料コントラスト像の取得ができます。VBEDでは、3D、凹凸、材料コントラスト像の取得が出来るため、今まで得られなかった情報の取得やお困りの測定への改善が期待できます。 特長 インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃(FEG) 電子銃と低収差コンデンサーレンズの融合により高輝度化を実現しました。低加速電圧でも十分な照射電流が得られ（100nA@5kV）、対物レンズの切り替えなしで高分解能観察から高速元素マッピング、EBSD分析や軟X線分析まで行えます。 Neo Engine (New Electron Optical Engine) JEOLの電子光学技術の粋を集めた次世代型電子光学制御システムを搭載しました。 条件変更時でも安定した観察が可能です。また、オート機能等の使い勝手の大幅な向上も実現しました。 SEM Center・EDSインテグレーション 操作GUI「SEM Center」とEDS分析をフルインテグレーションし、次世代の操作性を実現しました。さらに、初心者にSEM操作方法をアシストするスマイルナビ（オプション）や、ライブ像をみやすくするLIVE-AI（人工知能）フィルター（Live Image Visual Enhancer-AI:LIVE-AI)（オプション）も搭載しました。