電子顕微鏡 JEM-2200FS

分析用デジタル カメラ超高解像度

JEM-2200FS は、フィールドエミッション形電子銃を光源に持ちΩ形インカラム形エネルギーフィルタを搭載した分析電子顕微鏡です。 本装置のフィルタワークにより、試料中の元素分析はもちろん、その化学結合状態の分析もできます。ゼロロスフィルタ像や、エネルギー選択像からは観察の目的に応じた情報を得ることができます。 特長 • インカラム形オメガフィルタ 最適化された光学系設計によりディストーションフリーを実現したインカラム形エネルギーフィルタにより高精度のエネルギーフィルタ像およびエネルギー損失スペクトルを得ることができます。 • 制御システム 電子銃 ・ レンズ ・ フィルタなどの光学系、ゴニオメータステージ、排気系などが全てコンピュータ制御されています。システムの高い安定性により常に良好なデータを得ることができます。 • 結像システム 中間レンズ 4 段、投影レンズ 2 段の新結像システムの採用により、幅広い倍率 ・ カメラ長範囲でエネルギーフィルタリングされた TEM 像および回折パターンのローテーションフリーを実現しました。 • ピエゾコントロールゴニオメータ ピエゾ素子を組み込んだ新しいゴニオメータステージは、原子レベルにおける視野選択のスムーズな操作性を実現しました。