硫化水素ガスセンサー M103Y

MEMS

M103Yは、MEMSマイクロホットプラット技術に基づくマイクロ金属酸化物半導体ガスセンサーで、空気中の硫化水素を検出するために使用されます。センサーの製造には、MEMSシリコン基板技術、薄膜技術、厚膜技術、金属パッケージング技術が組み合わされています。センサーが汚染されたガス環境にある場合、センサーの導電率は空気中で検出されるガス濃度に応じて変化する。ガス濃度が高いほど、センサーの導電率は高くなる。導電率の変化をガス濃度に対応する出力信号に変換するには、簡単な回路を使用することができます。 検出ガスの種類：硫化水素 特徴 自動校正 クイックレスポンス (~15Sec.) 温度補正機能内蔵 デジタル信号出力、シンプルなアプリケーション 長寿命（～5年） 長期安定性 ➢ 要求に応じてモジュール感度を調整可能