EtOHセンサーは、MEMSマイクロホットプレート技術に基づく小型金属酸化物半導体ガスセンサーで、空気中の幅広い有機溶剤蒸気を検出します。シリコン基板MEMS技術、薄膜技術、厚膜技術、セラミックパッケージング技術を組み合わせてセンサーを製造します。
技術によって製造されます。ガス感応層は、ホットプレートの上部に蒸着され、電極が相互接続されているため、有害ガスの濃度に依存した導電性が得られます。
特徴
有機溶剤蒸気に対する高感度と広いダイナミックレンジ(1~1000ppm)
高速応答 (~10Sec.)
超低消費電力 ( 40~42mW )
小型サイズ ( 3.8mm × 3.8mm × 1.5mm )
長寿命 ( ~10年 )
リフローはんだ付け
アプリケーション
有機溶剤蒸気漏れ警報器
アルコール検知
IoT、ウェアラブルデバイス、スマートホーム
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