XY軸ポジショニングステージ

2軸精密測定用

天然の硬質石である花崗岩の部品を使用することで、従来の素材と比較して複数の利点が得られ、ハイダイナミックな機械コンセプトを提供することができます。 >高精度クロステーブル、エアベア式、高精度・高剛性の微細加工用 >すべての動作軸にエアベアリングを採用し、リニアドライブを搭載。 >エアベアリングは花崗岩の部品に直接組み込まれています。 摩擦の少ないベアリングを使用しているため、比重が軽く、部品の剛性が高いため、各軸の位置決め精度が高く、ダイナミックな加工が可能です。 仕様 >外形寸法1300×1200×400mm >X、Y方向の移動量。500×300mm >X軸、Y軸方向の走行精度光計測技術 >レーザー微細加工 >マイクロ・精密組立 その他の寸法、精度、様々な誘導原理や駆動方法も可能です。