パイロット版や研究開発用の新しいツールです。
0.4 m2 の棚面積
棚板流体循環式冷却・加熱
コンデンサーコイル温度 90 °C
空気圧式バイアルキャップ打栓システムを標準装備
50種類のレシピ、それぞれ最大50分割まで可能
空冷式コンプレッサー冷却システム
真空ポンプ内蔵フレーム
VHP除染対応
装置の仕様
- 完璧な棚板温度管理
- 滑らかで清掃が容易
- 棚板とチャンバーはAISI 316製
- 透明カバー付きコンデンサー
- AISI 316製のコンデンサー
- 外装はAISI 304製
- 製品およびプロセス観察用の完全透明ドア
- 真空制御機能
- VHP除染対応
- チャンバー除染
- チャンバーとコンデンサーの除染
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