CellaWafer PA 38は450~1,800 °Cのウェーハ温度測定用のデジタルパイロメーターです。測定波長が非常に短波で狭帯域であるため、シリコンウェーハや金属(タングステン、モリブデンなど)の測定に特に適しています。さらに、測定対象物の放射率の変化にも無感覚に反応します。
特徴
測定範囲 450~1800 °C
測定距離を正確に調整できる焦点交換式レンズ
広帯域反射防止精密レンズ
短波長および狭帯域スペクトル範囲
金属やシリコンウェハーの精密測定に最適
LEDディスプレイは遠くからでも読み取り可能
診断機能用テスト電流出力
標準機能:アナログ出力とUSB/RS 485インターフェース
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