低圧用圧力センサは動的圧力および短時間の静的圧力を真空から10barまで測定します。共振周波数が高く、高分解能であることが特長です。センサで発生した電荷信号は、チャージアンプで電荷に比例した出力電圧に変換されます。出力電圧にはセンサとチャージアンプをつなぐケーブルの長さの影響はありません。チャージアンプの出力は±10Vです。センサ7261の出力は最大感度で0.001bar/Vになります。
概要
測定する圧力はダイアフラムを通じて水晶測定素子へ作用します。この水晶素子で圧力を電荷に変換します。ステンレス鋼製のダイアフラムは平らに溶接してあり、ステンレス鋼の本体に密封してあります。水晶素子は高感度になるように変換器本体に密封した容器に取付けてあります。通常はねじ込み式のカバーやホースコネクタを使って測定する圧力を導入します。
7261は一般に被測定物に直に取付けるのではなく、ホースでつなぎます。ホースコネクタ型式1227を使用します。(Oリング1171付)。(図2)急速な圧力変動の測定には、接続用のホースやパイプは短くして、断面積をなるべく大きくします。この場合、1/8インチのガス管を使いカバーに直にねじ込みます。(図1)M4ねじ穴4 ヶ所はセンサを固定するのに使います。壁面と同一面になるように取付ける際には、M33×1のねじで取付けます。あるいはセンサ前面をΦ33の穴に差し込んで、フランジで固定します。どの場合にもOリング1173を使いシールします。出力端子と接続ケーブルをつないだ後にシリコンゴムでシールします。