厚さ測定システム Aleris® series

分光学フィルム用

フィルム測定システム Aleris® フィルム測定システムは、32nmノード以降のフィルムの厚さ、屈折率、応力、組成を信頼性が高く正確に測定します。 ブロードバンド分光エリプソメトリー（BBSE）テクノロジーを利用して、Alerisフィルム測定システムは、包括的な膜厚測定および測定ソリューションを形成し、工場が広範囲のフィルム層の認定と監視を支援します。 Aleris 8330 Aleris 8330 フィルム測定システムは、金属間誘電体、フォトレジストー、底面反射防止コーティング、厚い酸化物および窒化物、およびラインのバックエンド層など、重要でないフィルム向けの低所有コストソリューションです。 Aleris 8350 Aleris 8350は、重要なフィルムの厚さ、屈折率、応力測定に必要な厳しいプロセス公差を満たす高性能フィルム測定システムです。 Aleris 8350膜厚測定システムは、超薄膜拡散層、超薄膜ゲート酸化物、高度なフォトレジスト、193nm ARC層、超薄膜多層スタック、CVD層など、幅広い重要な膜の高度な膜開発、特性評価、プロセス制御に使用されます。 Aleris 8510 Aleris 8510は、Alerisファミリーの膜厚測定、組成、応力測定機能を高度なHigh k金属ゲート（HKMG）および超薄型デカップリングプラズマ窒化（DPN）プロセス層まで拡張します。 Aleris 8510フィルム厚さ測定システムは、強化された150nmブロードバンド分光エリプソメトリー技術を利用して、DPN層およびすべてのHKMG層の開発およびインライン監視に必要なフィルム測定データをエンジニアに提供します。