光学式検査機 Candela® 7100 series

表面用ハードディスク装置エレクトロニクス産業用

Candela 7100シリーズは、ハードディスク・ドライブの基板とメディア向けに、高度な欠陥検出と分類を実現します。生産実績のあるCandela製品ラインをベースに開発されたHDD用欠陥検出・分類システム7100シリーズは、マイクロピット、バンプ、パーティクル、埋没欠陥などの重要なサブミクロン欠陥の検出と分類を可能にし、歩留まりの最大化と総検査コストの低減を実現します。 Candela 7100シリーズの高度欠陥検出・分類システムは、ハードディスク・ドライブ基板とメディア専用に設計されています。高出力の2波長レーザーは、現在注目されている欠陥（DOI）の課題に最適化されており、マルチチャンネル散乱検出器により、あらゆる基板上のサブミクロンのピット、バンプ、パーティクル、埋もれた欠陥を分類する感度が向上しています。7100シリーズ欠陥検査装置の機能と安定性により、1つのプラットフォームを複数のプロセス制御アプリケーションポイントに使用することができ、原子間力顕微鏡、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡などのツールや手法に依存して欠陥を調査し、根本原因を特定する必要がなくなります。 HDDのサブミクロンのピット、バンプ、パーティクル、金属やガラス、基板、メディア上の埋もれた欠陥をフルディスク欠陥マップで検出し、分類します。 分類された欠陥と実用的なデータ出力を備えたフルディスクマップにより、結果を得るまでの時間を短縮 オフライン検査技術（AFM、SEM、TEMなど）への依存度を低減し、全体的な所有コストを削減。 手動（7110）または全自動（7140）構成で利用可能