光学式プロフィロメータ Tencor™ P-17

3Dスタイレット薄膜分析用

Tencor P-17 は、40 年以上にわたる表面形状測定の経験を基に開発された第 8 世代の卓上スタイラスプロファイラです。業界をリードするこのシステムは、ステッチなしで最大 200mm のスキャンを行い、2D および 3D ステップ高さ測定、粗さ、反り、応力をサポートします。 ウルトラライト（UltraLite®）センサー、コンスタントフォースコントロール、ウルトラフラットスキャンステージの組み合わせにより、優れた測定安定性を実現しています。ポイント＆クリックのステージコントロール、トップビューおよびサイドビュー光学系、光学ズーム付き高解像度カメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。Tencor P-17 スタイラスプロフィロメータは、表面形状を定量化するための様々なフィルタリング、レベリング、解析アルゴリズムにより、2D または 3D 測定をサポートします。パターン認識、シーケンス、特徴検出により、完全自動測定が可能です。 - ステップの高さナノメートルから1000μm - 定荷重制御による低荷重：0.03～50mg - ステッチなしでサンプルの全径をスキャン - ビデオ5MP高解像度カラーカメラ - アーク補正：スタイラスの円弧運動による誤差を除去 - ソフトウェア使いやすいソフトウェア・インターフェース - 生産能力シーケンス、パターン認識、SECS/GEMによる完全自動化 アプリケーション - 段差: 2Dおよび3Dの段差 - テクスチャー：2Dおよび3Dの粗さとうねり - 形状：2Dおよび3Dの弓形と形状 - 応力：2Dおよび3D薄膜応力 - 欠陥レビュー2Dおよび3D欠陥表面形状