光学測定システム Therma-Probe® 680XP

インプラントメトロロジーシステム Therma-Probe® 680XPイオン注入/アニール計測システムは、2Xnm/1Xnmデザインノードのインライン線量監視を可能にします。Therma-Probe 680XPは、イオン注入の線量とプロファイル、注入とアニールの均一性、範囲終了時のダメージに関する重要なプロセス情報を生成します。さらに、Therma-Probe 680XPシステムの高解像度マイクロユニフォミティマップは、インプラントとアニールのプロセス開発のためのフィンガープリント機能を提供します。 用途 プロセスモニター、ツールモニター