Alpha-Step D-500スタイラス・プロファイラーは、ステップ高さ、粗さ、弓、およびストレスの2次元測定をサポートします。 革新的な光学レバーセンサ技術は、高分解能測定、広い垂直範囲、低力測定機能を提供します。
スタイラス測定技術の利点は、材料特性に依存しない直接測定であることです。 調整可能な力とスタイラスの選択により、さまざまな構造物や材料を正確に測定できます。 これにより、工程の定量化により、追加または除去される材料の量に加え、粗さと応力を測定して構造の変化を判断できます。
太陽電池の粗さの画像を拡大表示
特徴
ステップ高さ:ナノメートルから1200μmまで
低力:0.03~15mg
ビデオ:5MPの高解像度カラーカメラ
キーストーン補正:サイドビュー光学による歪みを取り除く
アーク補正:スタイラスのアーク動作によるエラーを除去コンパクトなサイズ:ベンチトップスタイラスプロファイラーのための最小のシステムフットプリント
ソフトウェア:ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイス
ステップ高さ測定を示すグラフ
アプリケーションステップ高さ:2D
ステップ高さ
テクスチャ:2D粗さとうねり
フォーム:2D弓と形状
応力:2D薄膜応力
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