Alpha-Step D-600 スタイラスプロファイラでは、段差と粗さの 2D/3D 表面測定に加え、2D 反りや応力も測定できます。スタイラスプロファイラの革新的な光学式レバーセンサー技術により、高分解能測定、広い垂直測定範囲、低荷重測定が可能です。
スタイラス測定技術の利点は、材料特性に依存しない直接測定が可能なことです。力を調整したり、スタイラスを選択することで、様々な構造や素材の正確な測定が可能になります。このスタイラス測定オプションを使用すると、粗さと応力を測定することで、追加または除去された材料の量や構造の変化を定量化することができます。
- ステップの高さナノメートルから 1200µm
- 低推力: 0.03 ~ 15mg
- ビデオ5MP高解像度カラーカメラ
- 台形補正:サイドビュー光学系による歪みを除去
- アーク補正:スタイラスの円弧運動による誤差を除去
- コンパクトサイズ:小さなシステムフットプリント
- ソフトウェアユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェース
アプリケーション
- ステップハイト: 2D および 3D ステップハイト
- テクスチャー: 2Dおよび3Dの粗さとうねり
- 形状: 2D弓形と形状
- 応力2D薄膜応力
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