ライト測定システム UV Wafer

紫外線ウェハー用

蒸着・アニールUV光測定装置 UV Wafer in situ 紫外線（UV）光測定システムは、ワイヤレスセンサーウェハ技術を利用して、成膜プロセスツール内のウェハ表面におけるUV光の照射量と強度を測定するシステムです。これまで不可能だったプロセスの最適化とモニタリングを可能にするUV Waferは、FCVD（流動）酸化物や低誘電体膜のアニールや硬化に使用するUVランプからウェーハ表面に届く光の強度に関する時間的および空間的情報を提供します。また、ランプの経年変化によるドリフトや、不均一な膜特性をもたらすランプ強度の変化も確認することができます。UV Waferは、UVランプのサブシステムにおける光学系の問題を明らかにすることで、エンジニアが最適な硬化プロセスを実現するためのプロセスツールの改善を促進します。 アプリケーション プロセス開発、プロセス検証、プロセスツール検証、プロセスツール監視、プロセスツールマッチング 成膜、UVキュア、UVアニール