温度測定システム WetTemp series

ウェハー用

ウェット処理ウェーハ温度 (15°～140°C) その場測定システム WetTemp in situ ウェーハ温度測定システムは、300mmと200mmの両方のコンフィギュレーションがあり、ウェットクリーンやその他のウェットプロセスのモニタリングをサポートします。WetTempシリーズのモニターウェーハは、ほとんどの枚葉式ウェットクリーンプロセスシステムと互換性があり、ウェットクリーンツールの認定、ウェットクリーンプロセスの最適化、ウェットクリーンシステムの性能向上を支援します。 アプリケーション プロセス開発, プロセス認定, プロセスツール監視, プロセスツール認定, プロセスツールマッチング ウェットテンプ-HR 65個の温度センサーを9つの同心円状に配置したウェーハ温度モニター。ウェーハ厚さ1.2mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応。 ウェットテンプ-LP 5つの同心リングに65個の温度センサーを内蔵し、147mmエリアに偏った密度で配置されたウェーハ温度モニター。ウェーハ厚さ0.775mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応。 ウェットテンプ 5つの同心リングに65個の温度センサーを内蔵し、147mmエリアに偏った密度で配置したウェーハ温度モニター。ウェーハ厚さ1.2mmの枚葉式ウェーハプロセスに対応。