温度監視システム Process Probe™ 1730

プロセス制御用

プロセスプローブ™ 1730は、フォトレジストトラックシステム、温度制御ウェーハチャックシステム、オーブンアプリケーション、レジストベーク、ポリイミド、SOGアプリケーションにおけるウェーハ温度プロファイルの精密なその場特性評価を可能にします。プロセスプローブ1730は、エンジニアが歩留まり向上のためにプロセス装置の性能を向上させるために、プロセス条件を特性評価し、微調整するのに役立ちます。 アプリケーション プロセス開発、プロセス検証、プロセスツール検証、プロセスツールマッチング リソグラフィートラックシステム、温度制御ウェハチャックシステムおよびオーブン｜-150～300°C