光学式検査機器 FlashScan®自動欠陥検出用電気産業用
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特徴
- 技術
- 光学式
- 操作方法
- 自動
- タイプ
- 欠陥検出用
- 応用
- 電気産業用
詳細
レチクル空白欠陥検査装置
FlashScan® 211マスクブランクス欠陥検査装置は、光学およびEUVリソグラフィ用途のマスクブランクス欠陥要件に対応するため、マスクショップおよびブランクメーカーをサポートします。FlashScan 211は、その高感度と比類なき検査速度、自動欠陥処理機能により、様々なアプリケーションで結果を得るまでの時間を短縮します。
用途
マスクブランクス製造、マスクブランクス認定、レチクルプロセス制御、レチクルプロセス装置モニタリング
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