3Dプロフィロメータ Tencor™ P-7

スタイレットざらつき用卓上

Tencor P-7 ベンチトップスタイラスプロファイラ は、市場をリードする Tencor P-17 ベンチトップスタイラスプロファイリングシステムの成功を基に開発されました。P-17 テクノロジーの優れた測定性能を、卓上型スタイラスプロファイラとして優れた価格対機能を提供するプラットフォームに搭載しています。Tencor P-7 スタイラスプロファイラでは、段差、粗さ、反り、応力の 2 次元および 3 次元測定が可能で、最大 150mm のスキャンをステッチなしで行うことができます。 - ステップ高さナノメートルから 1000µm - 定荷重制御による低荷重：0.03 ～ 50mg - ステッチなしでサンプルの全径をスキャン - ビデオ5MP高解像度カラーカメラ - アーク補正：スタイラスの円弧運動による誤差を除去 - ソフトウェア使いやすいソフトウェア・インターフェース - 生産能力シーケンス、パターン認識、SECS/GEMによる完全自動化 アプリケーション - 段差: 2Dおよび3Dの段差 - テクスチャー：2Dおよび3Dの粗さとうねり - 形状：2Dおよび3Dの弓形と形状 - 応力：2Dおよび3D薄膜応力 - 欠陥レビュー2Dおよび3D欠陥表面形状