3Dプロフィロメータ HRP®-260

スタイレットざらつき用平坦度測定用

HRP®-260は、カセット間の高分解能スタイラス・プロファイラです。 HRPは、半導体、化合物半導体、高輝度 LED、データストレージおよび関連産業に対応する自動ウェハハンドリング機能により、生産実績のある性能を提供します。 P-260 構成は、ステッチなしで最大 200mmのスキャンに対して、ステップ高さ、粗さ、弓、および応力の2Dおよび3D 測定をサポートします。 HRP®-260 構成は、P-260 と同じ機能に加え、高分解能ステージで小さな機能を高分解能かつ高速なスループットで測定します。 HRP®-260は、ナノおよびマイクロサーフェスのトポグラフィを測定するためのデュアルステージ機能を提供します。 P-260 構成は、ステッチングなしで長いスキャン（最大 200mm）機能を提供し、HRP®-260は、最大 90μmのスキャン長に対応する高解像度のスキャン段階を提供します。 P-260は、Ultra Light® センサー、一定の力制御、超平坦な走査段階の組み合わせにより、優れた測定安定性を実現します。 HRP®-260は、高分解能の圧電スキャニングステージで性能を向上させます。 ポイント・アンド・クリック・ステージコントロール、低倍率と高倍率の光学系、高解像度デジタルカメラにより、レシピのセットアップが迅速かつ簡単に行えます。 HRP®-260は、表面地形を定量化するためのさまざまなフィルタリング、レベリング、データ解析アルゴリズムを備えた2Dおよび3D 測定をサポートします。 自動ウェハハンドリング、パターン認識、シークエンシング、特徴検出により、完全に自動化された測定を実現します。