光学式プロフィロメータ Zeta™-388

3D白色干渉法ざらつき用

Zeta™-388非接触プロファイラには、3D計測とイメージング機能が搭載されており、統合されたアイソレーションテーブルとカセット・トゥ・カセット・ウェハー・ハンドリング・システムにより、完全自動計測が可能です。このシステムは、高解像度3DデータとTrue Color無限焦点画像を同時に収集するZDot™テクノロジーを搭載しています。Zeta-388は、マルチモード光学系、使いやすいソフトウェア、低所有コスト、SECS/GEM通信により、研究開発環境と生産環境の両方をサポートします。 Zeta-388は非接触3次元表面形状測定システムです。Zeta-388は、Zeta-300の機能をベースに、完全自動測定のためのカセット・ツー・カセット・ハンドラーを追加したものです。特許取得済みのZDotテクノロジーとマルチモード光学系を搭載しており、透明・不透明、低反射率から高反射率、滑らかなテクスチャーから粗いテクスチャー、ナノメートルからミリメートルまでのステップ高さなど、さまざまなサンプルの測定が可能です。 Zeta-388自動光学測定システムは、6つの異なる光学測定技術を1つの設定可能で使いやすいシステムに統合しています。ZDot測定モードは、高解像度3DスキャンとTrue Color無限焦点画像を同時に収集します。その他の3D測定技術には、白色光干渉法、ノマルスキー干渉コントラスト顕微鏡法、せん断干渉法などがあります。膜厚測定には、ZDotまたは広帯域反射率計を使用できます。Zeta-388は、サンプルレビューや自動欠陥検査にも使用できるハイエンド顕微鏡です。