光学式検査機 Surfscan® series

表面用パターン無しウェハー用産業用

Surfscan® SP7XPは、最先端のロジックおよびメモリデバイスの性能と信頼性に影響を与える欠陥や表面品質の問題を特定する検査装置です。また、EUVリソグラフィに使用されるツール、プロセス、材料の評価と監視により、IC、OEM、材料、基板の製造をサポートします。DUVレーザーと最適化された検査モードにより、Surfscan SP7XPは、先端ノードの研究開発における究極の感度と、大量生産に対応するスループットを実現します。位相差チャンネル（PCC）および通常照明（NI）を含む補完的な検出モードは、ベアウェーハ、平滑および粗いフィルム、脆弱なレジストおよびリトスタックの固有の欠陥タイプを検出します。革新的な機械学習アルゴリズムを使用した画像ベースの欠陥分類（IBC）は、根本的な原因究明までの時間を短縮し、Z7™分類エンジンは独自の3D NANDと厚膜アプリケーションをサポートします。 Surfscan® SP A2およびSurfscan® SP A3パターンなしウェーハ検査システムは、自動車、IoT、5G、家電、産業（軍事、航空宇宙、医療）アプリケーション向けに製造されるチップの性能と信頼性に影響を及ぼす欠陥やウェーハ表面の品質問題を特定します。これらの検査システムは、ツール、プロセス、材料の認定と監視を行うことで、デバイス、OEM、材料、基板の製造をサポートします。DUVレーザーと最適化された検査モードにより、Surfscan SP Axシステムは、工場の欠陥低減戦略をサポートするために必要な感度を提供します。