光学式検査機 eDR7xxx™ series

ウェハー用エレクトロニクス産業用欠陥

e-Beamウェハーの欠陥レビューと分類システム eDR7380™ 電子ビームウェーハ欠陥レビューおよびウェーハ分類システムは、欠陥の高解像度画像を取得し、ウェーハ上の欠陥集団を正確に表現することができます。幅広い電子光学系と専用のインレンズディテクタを備えたeDR7380は、脆弱なEUVリソグラフィ層、高アスペクト比トレンチ層、電圧コントラスト層など、プロセス工程全体にわたって欠陥の可視化をサポートします。独自のSimul™-6テクノロジーは、1回のテストで完全なDOIパレートを生成し、正確な欠陥検出とエクスカージョン検出の迅速化を実現します。広帯域光学パターン付きウェーハ検査装置用のIAS™やベアウェーハ検査装置用のOptiSens™などの接続機能を備えたeDR7380は、KLA検査装置との独自の連携により、ICやウェーハ製造時の歩留まり学習を迅速に行います。 用途 欠陥画像処理、インラインでの自動欠陥分類とパフォーマンス管理、ベアウェーハの搬出・搬入品質管理、ウェーハのディスポジショニング、ホットスポット発見、欠陥発見、EUVプリントチェック、プロセスウィンドウ発見、プロセスウィンドウ認定、ベベルエッジレビュー。 関連製品 eDR728016nm以下のデザインノードICの開発・生産に対応した、第5世代電子ビーム液浸光学系を搭載した電子ビームウェーハ欠陥レビューおよび分類システムです。