単軸配置システム

レーザー光学リニア

- 超ダイナミックモーション - 圧倒的な位置決め精度 - 高いシステム剛性 - 低発塵 高速リニアモータシステムは、優れた生産性とプロセスの信頼性を実現するために、半導体製造装置の送り軸として開発されました。 可動質量、移動範囲、サイクル定義などの通常の顧客要件に加え、さらなる特性を考慮する必要がありました。例えば、以下のようなものです： - 非常にコンパクトな設計 - 比類のない同期品質（コギング） - メンテナンスが不要 - 迅速な試運転 - 絶対位置フィードバック - カスタマイズされたケーブルに対応するケーブルマネージメント 高速リニアモーターシステムは、高い位置決め精度を必要とする用途向けに特別に開発されました。個々の要件に合わせて、スライドとベースプレートの穴あけパターンをカスタマイズできます。さらに、このシステムはクリーンルーム対応バージョンで設計されており、機密性の高い環境での使用が可能です。初期立上げを容易にするため、迅速で効率的な立上げを可能にするパラメータセットが提供されます。 - ウェハーハンドリング - 基板ハンドリング - Eモビリティ - 医療技術 - レーザー加工 - 光学レンズハンドリング