リニアポジショニングステージ

回転多軸ローラー

- コンパクト設計 - 均一なインターフェース - 比類のない剛性 - μm範囲の同芯度精度 様々なダイレクトドライブ技術は、極めて小さなスペースで精密かつ信頼性の高いマニピュレーション作業を実現するために最適です。リニアスイベルやロータリーストロークのアプリケーションでは、ロータリーとリニアの組み合わせが必要です。KMLが提供する駆動技術は、トルクとリニアモータ技術を用いた最適なモーションソリューションに組み合わされています。 ウェットケミカル加工プロセスに対する通常の顧客要件に加え、追加のシステム要件も考慮する必要がありました。例えば、以下のような要件です： - コンパクトな設計 - 均一なインターフェース（機械／電気） - μmレンジの回転ユニットの同芯度精度 - 極めて腐食性の高い媒体（酸など）に対する特殊素材 - 最高のクリーンルーム分類に適合するシステム - 信頼性と安定性 - ほぼ100％の機械稼働率 - 容易なメンテナンス - 非常に動的な相互作用荷重に対するシステム全体の最大剛性 統合されたコンパクトなシステムソリューションは、最高の固有剛性を持つ最新のFEM手法の助けを借りて達成されました： - 圧縮材料による鋳造ベースボディ - 垂直運動用ボールねじ付き回転軸 - 回転軸には特殊な高精度ベアリング・ハイブリッド・ペアを採用 - 中空軸ダイレクトドライブとサーボモーター技術 - プレストレスステンレススチール製ローラーガイド - すべての可動部に特殊潤滑剤を使用 - 特殊表面コーティング - 粒子抑制のための真空チャンバーシステム - 100％の機能制御と適格なテストプロセス