自動チップ用マイクロ シーラー WATOM LS

ウェーハエッジ測定 - ピンポイント測定 半導体業界では、より微細なパターンが使用されるようになり、ますます高品質な先端材料が求められています。KoCoSオプティカル・メジャーメントは、ウェーハの品質が着実に向上していることを受け、ウェーハエッジおよびノッチプロファイル測定ツールWATOMを開発しました。 特許取得済みのWATOM LSの測定方法は、光検出センサーを利用し、ノッチ内のプロファイルを含むウェーハエッジのプロファイルをピンポイントで測定します。CMOSカメラを使用して、エッジプロファイルによって生成されるレーザーラインの写真を撮影します。その後、KoCoSが開発した数学的アルゴリズムを使用して、エッジプロファイルの特性を決定します。 WATOMのモジュール設計は、個々のウェハーを手動でロードする場合でも、自動マテリアルハンドリングシステム（AMHS）を導入する場合でも、最新の半導体製造工程のさまざまな自動化ソリューションと組み合わせることができます。