質量流量調節器 8750ガス用窒素用空気用
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特徴
- 技術
- 質量
- 流体
- ガス用, 空気用, 窒素用, 酸素
- その他の特徴
- デジタル
- 圧力
最大: 300,000 Pa
(43.5 psi)最少: 50,000 Pa
(7.3 psi)
詳細
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 10SCCM～100SLM
■精度：±1～1.5%F.S.
幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで)
表示器一体型で各種機能使用可能
瞬時/積算流量表示、アラーム設定ほか
RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能)
カタログ
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