質量流量調節器 HFC-303

ガス用高精度

質量流量を計測するマスフローコントローラーやメーターは、機械式の流量計やバルブに比べ、温度や圧力の影響を受けにくく、電気的に流量の情報をやり取りすることが可能です。半導体、光ファイバー、各種分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオテクノロジー、食品、環境計測、燃焼ガス制御、プラント設備、検査装置など、高い精度、再現性、応答性、コストパフォーマンスが求められる分野のプロセスや装置に幅広く使用されている。 N₂変換により、F.S.1000SLMまでの大流量制御が可能。