熱式質量流量調節器 366 series ガス用空気用窒素用
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特徴
- 技術
- 熱式質量
- 流体
- ガス用, 空気用, 窒素用, 圧縮空気用, 酸素, サワーガス用
- その他の特徴
- コンパクト, 産業用, ステンレススチール製, 低流量用, OEM用, 費用対効果が高い, 高出力用
- 出力
- アナログ
- 流量
最大: 100 l/min
(26.41721 us gal/min)最少: 0 l/min
(0 us gal/min)- 圧力
最大: 300,000 Pa
(43.5 psi)最少: 50,000 Pa
(7.3 psi)
詳細
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 10SCCM～100SLM
■精度：±1～1.5%F.S.
幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで)
カタログ
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