ウェーハトランスファー システム ZCC series

ガイドロッドを2 本採用した、シリンダ内蔵コンパクトスライド。 ■位置確認リードスイッチの取付が可能。 負荷開閉容量の大きいLED付無接点スイッチ方式を採用。しかも、ボディの上部･下部に取付が可能です。 ■配線･配管固定用のレール溝付。 わずらわしい配線･配管もレール溝の任意の位置へ固定可能です。 ■前後ウレタンダンパーを標準装備。 前端･後端の衝撃を吸収します。