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ベル炉 206A焼きなまし熱酸化
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特徴
- 形状
- ベル
- 機能
- 焼きなまし, 熱, 酸化, 拡散
- 熱源
- 電動
- その他の特徴
- 横型, エレクトロニクス産業用
- 幅
850 mm
(33.46 in)- 高さ
2,500 mm
(98.43 in)- 奥行き
6,700 mm
(263.78 in)
詳細
太陽電池(ソーラー)・太陽光発電(PV)セル製造に最適な横型炉。
100～156角ウェーハに対応し、1バッチ200～400枚の大量処理が可能。
125mm角、156mm角の太陽光発電セル、6インチ、8インチのウェーハサイズにも対応した太陽電池(ソーラー)・太陽光発電(PV)セル製造向け横型炉です。太陽電池(ソーラー)・太陽光発電(PV)生産用途に最適で、オキシ塩化リン(POCl3)、三臭化ホウ素(BBr3)などを使用したリン拡散、ボロン拡散、パイロジェニック酸化、ウェット酸化、ドライ酸化、アニールなどの結晶系処理が行えます。
