キャビネット炉 VF-3000H

焼きなまし電動制御空気下

超高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適。 R&D～量産まで使用可能な3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応します。ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまでお使いいただける縦型炉です。炉内は当社独自のメタルフリー構造です。実験機（ウェーハ搬送無し）も対応可能です。活性化アニールの超高温プロセスにも対応します。