チャンバー炉 VF-3000H

焼きなまし窒化高温

高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適。酸窒化処理が可能。 R&D～量産まで使用可能な～8インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～8インチまで幅広いウェーハサイズに対応します。ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまでお使いいただける縦型炉です。炉内は当社独自のメタルフリー構造です。高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適です。酸窒化処理が可能です。