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チャンバー炉 VF-5300HLP
焼きなまし高温自動

チャンバー炉 - VF-5300HLP - Koyo Thermos Systems - 焼きなまし / 高温 / 自動
チャンバー炉 - VF-5300HLP - Koyo Thermos Systems - 焼きなまし / 高温 / 自動
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特徴

形状
チャンバー
機能
焼きなまし
その他の特徴
高温, 自動, 縦型
温度

最少: 700 °C
(1,292 °F)

最大: 1,900 °C
(3,452 °F)

詳細

R&Dから量産ラインに対応 R&D､ミニバッチ：50枚処理、量産：100枚処理 75～200mmまで幅広いウェーハサイズに対応 N2ロードロックを標準装備 C to C搬送を備え、高スループットを実現 H2雰囲気でのトレンチラウンド化アニールに対応 （オプション）

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。