ベルトコンベヤー炉 VF-3000

キャビネット酸化制御空気下

R&D～量産まで使用可能な4～8インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉。 後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能で、4インチ～8インチまで幅広いウェーハサイズに対応します。ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまでお使いいただける縦型炉です。LGOヒータ、二珪化モリブデン（MoSi2）ヒータ、カーボンヒータを使い分けることにより、低温アニールやナイトライド(Si3N4)、ポリシリコン（Poly Si)などのLPCVDや酸化拡散処理はもちろん、SiCパワーデバイス向けのゲート酸窒化や活性化アニールなど超高温プロセスにも対応します。