ベル炉 200

焼きなまし酸化拡散

小型実験・研究(R&D)から量産までニーズに合わせた装置設計が可能。 シリコンウェーハはもちろん、 太陽電池(ソーラー)・太陽光発電(PV)の生産用途にも使用できる横型 お客様のご要望に合わせた装置設計が可能で、3インチ、4インチ、6インチ8インチウェーハ、125mm角、156mm角セルサイズに対応した実験・研究(R&D)から量産にまで対応した横型炉です。シリコンウェーハはもちろん、太陽電池(ソーラー)・太陽光発電(PV)生産用途にも使用でき、オキシ塩化リン(POCl3)、三臭化ホウ素(BBr3)などを使用したリン拡散、ボロン拡散、パイロジェニック酸化、ウェット酸化、ドライ酸化、アニールなどの処理が行えます。