チャンバー炉 CLH series

硬化熟成焼きなまし

耐熱高性能フィルタと当社独自の冷却器の搭載で高温ベークが可能 温度安定時には槽内クラス100を維持可能 熱風フローは、前面吹き出し型水平循環(V型)と、サイドフロータイプ(Ⅲ型)があり、高い熱効率と良好な温度均一性を実現 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等の高精度処理が要求される用途に最適 不活性ガスを槽内に導入することでイナートガスオーブンとしての使用も可能 熱風フロー方向で、側面吹き出し方式のⅢ型と前面吹き出し方式のV型の2種類を準備。 耐熱型の高性能フィルターと独自冷却器の搭載で最高530℃まで（V型は500℃まで）の高温処理が行えるクリーンオーブンです。熱風循環方式による良好な温度均一性とクラス100（温度安定時）の空気清浄度で半導体ウェハー、ガラス基板のベーキング、エージングなど高温・高精度な処理が要求される用途に最適です。窒素(N2)ガスを槽内に導入することで残存酸素濃度20ppm以下で使用することも可能です。