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レーザーリトグラフシステム LITEQ 500
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特徴
- タイプ
- レーザー
詳細
K&Sのリソグラフィは、所有コストを大幅に削減する専用ソリューションを開発することにより、先進包装用リソグラフィの画期的な製品を提供します。
LITEQ 500プロジェクションステッパーの主な特長と利点
最高スループット
最大2倍優れた所有コスト
レーザーベースの光源
革新的な光学設計
高速ウェハ処理
モジュラーシステムアーキテクチャ
差別化ソフトウェア
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