流量計用フィードスルー端子 KLFDOF05060

真空フランジ単一回路

これらの強磁性流体シールドロータリドライブは、チャンバポートが真空壁を通る穴を取り囲むOリングを取り付けるのに適した平らで研磨された外面を有する高真空アプリケーション向けに設計されています。 各フィードスルーには、フランジにフルオロカーボンOリングが取り付けられています。 これらのフランジは、標準的な真空産業フランジシステムには対応していませんが、寸法テーブルは、チャンバとの合致に必要な情報を提供します。 あるいは、アダプタスプールピースを供給して、任意のフィードスルーを真空フランジに合致させることもできます。 機能 動的部品の周りにOリングシールの代わりに特殊な磁性流体（強力流体）を使用する 流体は、シャフトを密閉し、永久磁石が流体を所定の位置 に保持しながら液体 Oリングを作り、シャフトに機械加工された溝によって形成された段階で磁性流体を保持するか、 ポールピース 通常のOリングとは異なり、強流体 Oリングは、シャフトの動きにもかかわらず、何年もの間無傷のままです。