通常マスフローのコントローラーと共に上流の圧力制御の適用のために使用されて。
これらの弁はマイクロメートル置く弁が開位置のある程度に遠隔に作動させることができる第3位置を利用する。 ボディおよびすべての主要な内蔵部品は、10-6トルでろう付けされる真空の炉であり1100°Cで最高の共同完全性を保障する。 これは最小になるボディゆがみが通常溶接された弁で見つける間、「事実上の漏出」またはわなに掛ける事区域の可能性を除去する。 メンテナンス目的で、キャリッジアセンブリはボディからシステムから弁を取除かないで取除くことができる。
特徴
Electropolishedのステンレス鋼
真空弁工業の最も小さい内部の表面積の1つ
陽性によって締められた弁は圧力降下に先行している電源切れの場合に閉鎖した位置を維持する
真空の中の機械ロック無しの独特な空気シリンダー設計は最低に衝撃および振動を減らす
半導体および他の敏感なプロセスのための理想
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