光起電性貯蔵マシン PVD 75

スパッタリング式熱蒸発による真空

プロ ラインPVDシリーズ–多目的な放出させること、電子ビーム、上昇温暖気流、及び有機性蒸発の沈殿プラットホーム プロ ラインPVDシリーズはいろいろ薄膜の沈殿適用のために構成可能モジュール設計を利用する。 増加する3つの部屋のサイズで利用できる:PVD75、PVD200およびPVD500 2"でTORUS® Mag Keeper™ UHVの多用性がある円のマグネトロンの放出させる源と利用できる、3"、4"直径 TORUS®の線形マグネトロンと利用できる 複数のポケット電子ビームの蒸発の源と利用できる 多数の熱蒸発の源構成と利用できる 利用できる2つまでの有機性蒸発の源 利用できる複数の技術の選択。例:電子ビーム+、電子ビーム+蒸発放出させる ぬれたか乾燥した荒いポンプ、ターボ ポンプ、または利用できる低温学ポンプ高真空ポンプの選択 20"に11"までと互換性がある標準的な構成ODの基質（部屋のサイズ迄）;冷却し、利用できる選択を偏る850°C暖房まで 基質6"までのために利用できる単一および複数のウエファーの負荷ロック・オプション PVD用具のプロ ライン シリーズはKJLCの革新的なeKLipse™の先回り制御のパッケージを含んでいる