ウェハスピンコータ VTC-200P

Vtc-200p 真空回転式コーティングマシンは、半導体、水晶、光ディスク、製版などの表面コーティングプロセスに適しています。このマシンは、強酸と強アルカリ性のコーティング溶液のコーティングの準備に使用することができます。vtc-200p真空ロータリーコーティングマシンの空洞は真空にすることはできません。それが働くとき、サンプルは真空の皿の吸着の方法によってサンプル皿で固定されます。装置はプログラムの 12 グループを貯えることができますプログラムの各グループは 6 つの操作の段階を含んでいます。異なる操作段階では、装置の回転数は、装置の速度がゆっくりと限界速度に増加するように、過度の無駄と材料の節約なしに、サンプル表面のフィルム材料の均一な膜形成を助長している異なっています。チャンバーの上部カバーは、サンプルを加熱することができます（オプション機能）、これは、高粘度のフィルム材料のコーティングプロセスを助長している。Vtc-200p 真空回転式コーティング機に簡単な操作、便利なクリーニング、コンパクトサイズ、等の利点があり、主に大学、科学研究所の実験室でフィルムを生成するために使用されます。 主な特長。 1.プログラムの12グループがあり、各グループは6つの操作段階を含み、各セクションの増加および減少率の設定範囲は100-2000rpm/sであり、各セクションの時間範囲は0-60sである。 2.試料は真空吸着で固定され、操作が簡単です。 3.吸盤の真空度は-0.08mpaに達することができます。 4.位置決め治具を使用することにより、簡単に試料を中心位置に配置することができ、偏心による振動や飛散を低減することができます。