平坦度測定用干渉計 TOPOS 100

整流パーツフィゾー光学式

TOPOS 100は、サブミクロン精度で製造された精密表面用の非接触平坦度測定器です。 TOPOS 平坦度測定装置は、 燃料噴射 システム、ポンプ、バルブなど、高度な部品の生産と品質管理のための客観的に動作する測定ツールの要件を満たしています。 TOPOS 干渉計は、ラップされた精密部品、 および研磨された精密部品の非接触平坦度測定を可能にします。 TOPOS 干渉計は、光の放牧の入射率の原理に従って動作します。 また、粗い部品の平坦度を測定することができ、光学フラットやFizeau-干渉計でフリンジパターンを見せません。 干渉パターンに基づいて、コンピュータは試験対象物の平坦度を計算します。 ラップ部品や接地部品の隣にも研磨部品を測定することができます。 部品は多様な材料で構成されていてもよい： -金属（鋼、アルミニウム、青銅、銅など） -セラミック（AL2O3、SiC、SiNなど） -プラスチック材料 など 干渉計は、加工機の近くの生産ラインに配置することができます。 絶対精度は測定領域全体で最大 0.1μmです。