低価格なクロステーブルからハイエンドなクロステーブルまで、LANGは様々なアプリケーション分野に対応したクロステーブルを様々な価格帯で提供しています。LANGはさまざまなドライブシステムを提供しています。駆動方式としては、滑らかなボールねじ駆動、ロールねじ駆動、リードスクリュー、ベルト駆動、リニアモーターなどがあります。
クロステーブルは、ウェーハ検査、顕微鏡、画像処理システムなど、プローブを分析する必要がある場合に使用されます。クロステーブルの大きな利点は、自社のシステムに簡単に組み込めることです。LANGのクロステーブルは、高品質のステッピングモーターで駆動されます。
GTシリーズのクロステーブルは、一貫して最高の精度基準に合わせて設計されており、卓越した剛性を備えています。高解像度の測定システムをコンパレータに合わせて配置し、ジャンクションローラーガイドの間にはバックラッシュのないボールネジを採用することで、位置決めの誤差を最小限に抑えています。また、高剛性の一体型構造により、優れた再現性を実現しています。このコンパクトな設計により、潰れる心配がなく、ケーブルを片側に寄せて配置することができるため、GTシリーズのテーブルは、操作精度や位置決め精度が厳しく求められるオープンシステムに特に適しています。
---